摘要：目的 通过分析采用磁控溅射工艺在玻璃表面制备膜层的镀膜玻璃表面成分,探究其发霉原因。方法 利用扫描电镜-能谱仪以及X射线光电子能谱,对镀膜玻璃表面发霉和未发霉区进行元素分析,并与陆运样品进行对比,分析讨论了镀膜玻璃发霉的主要原因。对海洋运输的镀膜玻璃进行深度剖析,检测其随着深度元素分布的变化。结果 镀膜玻璃表面出现星罗式白斑,通过XPS测试得到镀膜玻璃表面存在氟元素,氟质量分数为0.12%,扩散深度约为11 nm。白斑内氟含量更高,为1.07%,扩散深度约为65 nm,且Na元素已微量扩散至样品表面。结论 海洋运输过程中镀膜玻璃与来自海洋中的含氟物质长时间接触,膜层顶层起保护作用的SiO_2被侵蚀,SiO_2膜层脱落造成了大量水汽与镀膜玻璃接触,表面层中的可溶性硅酸盐被水解和破坏,形成了苛性钠,从而导致玻璃大面积发霉。

关键词：磁控溅射 镀膜玻璃 海洋运输 海洋腐蚀 x射线光电子能谱 

单位：海南中航特玻科技有限公司; 海南澄迈571924; 海南大学海南省特种玻璃重点实验室; 海口570228