摘要：目的研究ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/Al反射式无机全固态薄膜中WO3薄膜在高温环境中的性能退化机理。方法采用直流反应磁控溅射法制备电致变色器件和WO3单层薄膜,并进行高温加热试验。对电致变色整体器件进行反射率变化量的测试,对WO3薄膜进行微观结构分析和电化学循环特性分析。结果电致变色器件经不同温度加热后,350℃以下,反射率变化量下降不明显,350℃以上反射率变化量明显降低,WO3薄膜发生了非晶结构向晶体结构的转变。WO3薄膜的电化学循环特性为：随着加热温度的升高,电致变色响应时间增大,350℃以上,响应时间急剧增大,电致变色性能降低明显,但电致变色循环稳定性更好。结论 WO3薄膜疏松多孔的非晶结构能提供更多的离子（电子）注入和传输通道,电致变色性能更好,但疏松多孔结构循环稳定性较差。致密的晶体结构因通道闭合,离子（电子）不易注入和传输,电致变色性能较差,但致密结构循环稳定性较好。

关键词：反射式无机全固态薄膜 电致变色 wo3薄膜 高温环境 退化机理 

单位：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室; 兰州730000