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首页 > 期刊 > 表面技术 > 不同掺杂对类金刚石薄膜的影响 【正文】

不同掺杂对类金刚石薄膜的影响

张书姣; 吴艳霞; 朱丽楠; 唐宾; 刘颖 表面技术 2018年第09期

摘要：

关键词：类金刚石薄膜 掺杂 硬度 摩擦学性能 耐腐蚀性能 

单位：太原理工大学; 太原030024

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