摘要：耦合波分析法（RCWA）方法是目前研究光栅衍射最普遍的方法.垂直入射到光栅表面的光使衍射光的正负N级衍射波处于对称状态,使得在RCWA法中原先需要计算2N＋1级衍射的2N＋1阶矩阵问题降低到计算N＋1级衍射的N＋1阶矩阵问题.本文将这种对称结构的简化方法推广到非垂直入射、光栅条纹在入射平面内的情况,使得在这种耦合情况下的2（2N＋1）阶矩阵问题简化为2（N＋1）阶矩阵问题.同时针对小角度入射的情况提出了进一步简化计算方法将其简化为（N＋1）阶矩阵问题.实验表明在较大的范围内,其误差均可接受,在工程应用具有重要的意义.

关键词：光栅 rcwa 衍射 对称性 

单位：电子科技大学物理电子学院; 四川成都610054