摘要：本文提出的方法是在相位测量法的基础上,利用神经网络建立折叠相位与高度的映射关系,不需要严格搭建系统,也不需要展开相位及标定系统,不必考虑由系统的非线性所带来的误差。测量结果的精度在十个微米左右,标准方差在一个微米以下,是一种快速有效且准确稳定的机器视觉高度测量方法。

关键词：机器视觉检测 高度测量 光栅投影 相位测量法 人工神经网络 

单位：辽东学院