摘要：产品的可靠性对于研究人员分析产品服务时间非常重要。所以说,可靠性在很大程度上可以检验产品的质量,并且反映出产品合格与否。在使用新技术和新材料的情况下,普通半导体集成电路的线宽逐渐减小,因此研究人员就需要集中精力最大化地提高半导体的集成度,这也对于半导体集成电路在可靠性方面提出了更加严苛的要求。本文主要介绍了半导体集成电路的可靠性测试,并分析了热载流子注入测试和栅氧化层测试等两种数据处理方法。

关键词：半导体集成电路 可靠性 数据处理 

单位：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司; 江苏无锡214135