摘要：针对低气压下含有少量氮气杂质（体积分数为10^-6-10^-4）的氦气辉光放电特性进行研究，通过建立相应的二维流体模型，利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程，得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布，分析讨论了氮气杂质的含量对低气压下氦气辉光放电的影响。研究结果表明：随着杂质含量的升高，由于氮分子和氦亚稳态原子的彭宁电离过程降低了击穿电压，因此气隙维持电压降低，回路电流升高。并且由于彭宁电离为放电提供了较多电子，导致电子数密度升高、电场强度降低、电子温度降低。

关键词：低气压氦气辉光放电 低温等离子体 彭宁电离 氮气杂质 辉光放电清洗 

单位：清华大学电机工程与应用电子技术系; 北京100084