摘要：<正>薄膜镀制是固态的膜层材料在真空条件下蒸发或者溅射,经过气相传输,在基片表面沉积成薄膜。相同的薄膜设计,因操作人员、时间、设备、工艺参数等的不同,结果相差甚大。影响薄膜特性的工艺参数非常多,但对于这些工艺参数的测控却非常有限。举例来说,

关键词：薄膜性能 工艺参数 真空镀膜工艺 薄膜光学 基片温度 

单位：山东北方光学电子有限公司