摘要：为了研究微间距气体放电特性机理,在大气压环境下,采用了精密距离控制仪器进行电极间距为1~100μm的气体放电实验,得出了电极间距在1~100μm范围内的击穿电压,绘制了击穿电压曲线并讨论分析了1~5μm间距下击穿电压背离巴申曲线的原因。运用Fowler-Nordheim理论验证了在电极间距小于5μm时,气体放电过程由场致电子发射主导,并通过分析1~5μm间距内场强,进一步说明场致发射在此起主导作用。电极间距在10~15μm范围内时出现火花放电现象,分析认为该间距下的放电为电子崩引发的微间隙火花放电。电极间距在15~100μm范围内时击穿电压随着电极间距的增大而逐渐增大,击穿电压曲线与巴申曲线变化趋势相同,可以用汤逊机理解释。

关键词：微间隙 气体放电 击穿电压 paschen曲线 场致发射 

单位：河南理工大学电气工程与自动化学院; 河南焦作454000