摘要：将生产计划与生产调度整合,提出整合式晶圆生产控制系统,以应对生产过程中的异常情况,提高晶圆厂的生产绩效。利用两大建模工具IDEF0和Petri Net的各自优点,对整合式生产控制系统建模。

关键词：晶圆制造厂 整合式生产控制 idef0建模工具 petrinet建模工具 

单位：郑州航空工业管理学院工业工程系; 河南郑州450015; 河北能源职业技术学院开滦党校; 河北唐山063009; 上海理工大学管理学院; 上海200093