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器件温度测试的影响因素

李兴鸿 赵春荣 赵俊萍 环境技术 2014年第04期

摘要:本文从器件用热像仪的测温过程、常用公式出发,针对测温条件进行了探讨,对公式里面的指数n的取值进行了推算。认为n可取4,但常数C和指数n的取值与波长范围和温度范围有关,要匹配。同时对IC温度分布的精确测量条件也进行了总结。

关键词:红外热像仪辐射温度实际温度n值

单位:北京微电子技术研究所 北京100076

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环境技术

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