摘要：FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可缺少的分析技术;能够进行纳米器件加工,是微加工领域的一种新型技术。FIB技术可操作性强、样品损伤小,对航天型号元器件可靠性质量保证技术具有一定的指导意义。

关键词：fib 结构分析 失效分析 tem制样 

单位：上海微小卫星工程中心; 上海201203; 中国科学院微小卫星重点实验室; 上海201203