摘要：随着微波器件的发展应用领域的扩展,对其可靠性的要求也越来越高。在微波器件的可靠性评估试验中,射频动态老化试验是最重要的试验之一。而试验系统的可靠性,经济性和实用性直接影响到可靠性评估的安全性和准确性。本文选取微波混频器为研究对象,设计并搭建了射频动态老化系统,在设计中加入了负反馈电路以保证系统的稳定性。基于虚拟仪器软件和数据采集卡,上位计算机可实时采集海量状态信息,如直流参数和射频参数。通过微波器件软硬件平台验证表明,该系统可以很好的完成微波器件的动态老化过程,较传统的静态老化系统有很大的改进和提高。

关键词：微波器件 射频动态老化试验 负反馈电路 功率监测 

单位：中国电子科技集团公司第十三研究所; 石家庄050051; 国家半导体器件质量监督检验中心; 石家庄050051