摘要：本文针对国内多数单位在器件筛选过程中老炼试验样品种类杂,批次多,试验过程记录的数据量大的现状,利用虚拟仪器软件编程,通过IBM服务器终端作为上位机与多台老炼电源通信,从而对多批老炼试验进行网络控制和实时监测,并分析老炼过程中采集到的电学参数判断老炼试验的状态,自动采取相应的故障处理措施,实现了紧急中断试验、快速保护试验样品,提供试验异常时的电参数波动数据的功能,具有很强的实用性。

关键词：半导体器件 动态老化试验 负反馈电路 功率监测 

单位：中国电子科技集团公司第十三研究所; 石家庄050051