摘要：离线镀膜玻璃生产线利用磁控溅射法生产镀膜玻璃,该过程工艺复杂,自动化程度要求较高。该文针对生产线硬件结构和控制策略的分析,提出主控制器采用基于西门子S7-400PLC的双CPU协同的控制模式,并结合真空系统、伺服控制系统、磁控溅射阴极电源系统等子系统的特点详细阐述控制系统设计方案与运行原理。

关键词：磁控溅射 控制系统 

单位：中国建材国际工程集团有限公司 蚌埠233018