摘要：简要地介绍了研制的大行程纳米定位系统宏动工作台的组成,详细地分析了其系统误差特性及几种误差补偿方法.实验表明,通过双向螺距误差补偿法可使其定位精度得到较大的改善.

关键词：定位系统 误差补偿 定位精度 pmac 

单位：上海大学; 机电工程与自动化学院精密机械系; 上海; 200072; 上海俊乐制冷自控元件有限公司; 上海; 201818