摘要：介绍了超精密双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案.采用Windows软件平台,图形化界面功能指示、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统,应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工.

关键词：超精密 双面抛光 直接数字控制 

单位：浙江海洋学院; 浙江; 舟山; 316000; 浙江工业大学; 浙江; 杭州; 310014