摘要：采用普通钻削加工细深孔的质量很差，在以微晶玻璃为代表的硬脆材料上进行细深孔加工更加困难。为实现在微晶玻璃上的细深孔加工，采用了超声加工方法，完成了超声加工声学系统的设计，并用有限元分析方法对工具在不同压力下的变形和应力进行了分析。实验结果表明，该超声加工工具可以满足微晶玻璃细深孔的加工要求。

关键词：细深孔加工 超声加工 硬脆材料 有限元分析 

单位：杭州电子科技大学机械工程学院 浙江杭州310018