摘要：针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题,采用比对测量原理,以激光干涉仪为基准,提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试验方案,通过实验法研究了速度与加速度对长光栅测量精度的影响;基于精密气浮导轨、激光干涉仪和数控技术,研制出了长光栅动态特性试验系统。该试验台采用卧式结构,主要由机械系统、伺服系统、数据采集处理系统和软件系统组成,具有精度检测、动态性能测试和寿命试验的功能。精度分析结果表明：该试验系统的综合不确定度为0.124μm,即满足试验台对精度为0.5μm的光栅进行检测的精度要求。

关键词：光栅传感器 动态特性 试验系统 气浮导轨 

单位：北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京100124