摘要：针对石英挠性加速度计全数字闭环系统设计问题，开展了对加速度计力矩器的结构和工作原理以及与加速度数据输出的关系的分析，对加速度计力矩器的驱动和加速度计的读出精度等方面进行了研究，提出了一种数字脉宽调制（PWM）电路对力矩器进行的驱动方法，该方法不仅实现PWN对加速度计力矩器的驱动，并且该PWM数字电路的占空比参数直接作为加速度数字信号输出。利用PWM数字脉冲对加速度计力矩器进行驱动实现加速度计全数字闭环读出，对加速度计全数字读出系统进行了仿真和实验测试。研究结果表明，在一定范围内，通过调整力矩器外接电阻、PWM频率和逻辑位数，全数字挠性加速度计闭环读出电路可以测得标准偏差为1．5×10^-5g，精度为10^-4g的加速度值，该方法精简了电路，减少了模拟驱动电路引起的干扰。

关键词：石英挠性加速度计 力矩器 pwm驱动 

单位：长沙理工大学物理与电子科学学院 湖南长沙410114