摘要：针对引线键合劈刀悬伸长度对声学系统谐振频率及劈刀刀尖振幅的影响等问题,推导出了换能器与变幅杆整体频率方程,建立了超声引线键合声学系统的有限元模型,开展了有限元模态分析,通过改变劈刀相对偏移量,得到了不同相对偏移量下对应的声学系统振动模态图、谐振频率和劈刀刀尖振幅,从而得到了相对偏移量与声学系统谐振频率及劈刀刀尖振幅的散点图及函数关系,在Agilent阻抗分析仪上对有限元分析结果进行了评价,进行了振动参数测试。研究结果表明,仿真结果和测试结果比较吻合,通过改变劈刀悬伸长度可以改变声学系统的谐振频率和刀尖振幅,当劈刀的悬伸长度为2 mm左右时,刀尖振幅达到最大,同时劈刀悬伸长度对于系统振动模态影响不大,且主模态与相邻模态相差较远,可有效避免系统频率混叠现象。

关键词：有限元 超声引线键合 劈刀 振动特性 

单位：杭州电子科技大学机械工程学院 浙江杭州310018