摘要：为解决研磨后圆柱滚子外圆表面质量差的问题,将化学机械抛光技术应用到圆柱滚子外圆加工中。基于自制的双平面研磨抛光机,采用偏心转摆式的加工方式对圆柱滚子进行了化学机械抛光,观测了不同抛光阶段圆柱滚子外圆表面的微观形貌,测量了不同抛光阶段圆柱滚子的表面粗糙度、圆度及表面硬度,并分析了不同抛光阶段中的抛光液对于圆柱滚子加工所起的作用。研究结果表明：在粗抛阶段时,圆柱滚子的表面质量及形状精度能得到快速改善;在精抛阶段时,圆柱滚子的表面质量及形状精度可得到进一步修正;抛光后,圆柱滚子的表面粗糙度可达到0. 011±0. 004μm,圆度可降至0. 31±0. 075 um。

关键词：圆柱滚子 轴承 偏心转摆式 化学机械抛光 

单位：浙江工业大学超精密加工研究中心; 浙江杭州310014