摘要：在充分考虑周围环境影响被控对象的基础上,建立具有纯时滞的温度控制数学模型,并提出逐级递推式超精密温度控制策略.当环境温度变化6 ℃时,采用提出的控制策略进行试验及仿真研究,被控对象试验及仿真的控制精度分别达到±0.01 ℃和±0.002 ℃.

关键词：机床 超精密加工 逐级递推式超精密温度控制策略 数学模型 控制精度 

单位：浙江大学现代制造工程研究所; 杭州; 310027; 中科院自动化研究所