摘要：针对补偿负刚度后的静电轴承-转子系统模型,讨论了PID控制参数与动刚度特性的关系,为根据刚度指标确定控制参数提供了理论依据.对三自由度静电球轴承的动刚度分析与实验结果表明,系统在低频与高频段具有较高的支承刚度,而中频刚度较低,刚度幅频特性曲线呈'浴盆'状.在系统通频带内,动态刚度主要由控制器参数决定, 而高频刚度主要取决于转子的惯性项.在系统稳定区域,改变控制器参数可以灵活设定系统的动刚度特性.

关键词：静电轴承 动刚度 静电悬浮 pid控制 惯性仪表 

单位：郑州大学机械工程学院; 郑州; 450002; 清华大学