摘要：建立了大面积热丝化学气相沉积衬底温度控制系统的数学模型,提出了一种基于自回归模糊神经网络控制策略,并进行了计算机仿真和试验研究.结果表明,系统具有较强的自适应、自学习能力,对设定轨迹具有良好的跟踪性能,可很好地满足金刚石膜沉积过程中系统的控制性能要求.

关键词：热丝化学气相沉积 衬底温度 模糊神经网络 自动控制 

单位：南京航空航天大学机电学院; 南京; 210016