摘要：尽管现代生物技术制造出了许多新型的合成药物，但是利用目前的给药方式（比如口服或肌肉注射），不能将这些药物有效的输入人体。透皮给药是解决这个问题的一个有效途径，但由于人体皮肤的渗透性很差，使透皮给药方式的应用受到限制。透皮给药的最大障碍是皮肤表层120μm厚的角质层，而神经处在更深层的组织中，因此利用硅微加工技术制作了一种微针阵列，既可以穿透皮肤的角质层，又不触及到深层组织中的神经，从而形成一种渗透性好且无任何痛苦的新型透皮给药方式，这种给药方式的关键技术是微针阵列的加工，着重讨论硅材料微针阵列加工的各向同性刻蚀和各向异性刻蚀两种工艺。

关键词：透皮给药 微针阵列 各项同性刻蚀 深度刻蚀 

单位：浙江大学流体传动及控制国家重点实验室; 杭州310027