摘要：采用二维纳维一斯托克方程、拉普拉斯方程、泊松-玻尔兹曼方程表述电渗流微泵的计算模型，讨论了电渗流在各种工况下的流型，分析了双电层（EDL）厚度、外加垂直电势、Zeta电势、背压以及管径对电渗流（EOF）驱动时间的影响。仿真结果表明：影响驱动时间的主要是管径，其他因素可以忽略：无载驱动与反向驱动时间是毫秒级，有载驱动时间是在微秒级。通过改变外加垂直电势或Zeta电势的极性，可以实现双向驱动。

关键词：电渗流 无网格算法 modified 驱动时间 

单位：东南大学MEMS教育部重点实验室; 南京210096