摘要：针对材料纳米压痕硬度的压痕尺寸效应（Indentation size effect，ISE），利用纳米压痕技术测得单晶铝和单晶硅的载荷-压深曲线，获得最大载荷和最大压深，并结合原子力显微镜，获得压痕的三维形貌，计算出压痕的真实残余面积。根据最大压深和残余面积提出了一个新的模型——残余面积最大压深模型，此模型能更好地理解和描述材料硬度的压痕尺寸效应，并与其他几种典型的理论和模型进行了比较和分析。

关键词：压痕尺寸效应 纳米压痕 原子力显微镜 硬度 残余面积最大压深模型 

单位：哈尔滨工业大学机电学院; 哈尔滨150001