摘要：根据气膜厚度的Knudsen数，确定滑移流为微型气浮轴承内部的润滑机制。引入二阶滑移流边界条件对连续流的状态方程进行修改，得到滑移流机制下修正的雷诺方程。利用有限差分法对雷诺方程求解，得到两种情况下的气压分布，进而得到相应的承载能力和偏位角。经过对比分析，发现在滑移流机制下气浮轴承的力学性能与连续流机制的情况有较大差异。在相同的转速和偏心率下，滑移流效应降低了气压分布的曲率，进而降低了气浮轴承所能够提供的承载能力。

关键词：微型气浮轴承 滑移流机制 修正的雷诺方程 承载能力 偏位角 

单位：上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室; 上海200240; 武汉科技大学机械自动化学院; 武汉430081