摘要：采用偏压辅助增强热丝化学气相沉积法（Chemical vapor deposition，CVD），以WC-Co硬质合金为衬底，采用控制沉积参数和添加惰性气体Ar等CVD新工艺，制备性能优良的纳米金刚石薄膜。进一步采用扫描电镜（Scanning electron microscopy,SEM）、原子力显微镜（Atomic force microscopy，AFM）、拉曼光谱（Raman spectroscopy）、X射线衍射（X-ray diffraction，XRD）和高分辨率透射电镜（High-resolution transmission electron microscopy,HR-TEM）分析了薄膜的纳米效应。研究结果表明：纳米涂层仍然是以金刚石结构为主的多晶体，它晶体颗粒较小（20～80nm），含有较多的晶界和sp^2结构，涂层表面粗糙度Ra≤50nm，表面平整光滑，有利于研磨抛光。在此基础上，提出纳米金刚石复合涂层制备新技术，开发研制出各种涂层拉拔模具，在实际生产线上进行了应用，取得了显著的效果。

关键词：纳米金刚石薄膜 硬质合金 表面粗糙度 复合涂层 

单位：上海交通大学机械与动力工程学院; 上海200030; 上海交通大学微纳米科学研究院; 上海200030; 上海交友钻石涂层有限公司; 上海200240