摘要：为实现微系统产业化开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳，采用电热驱动方式、V形梁阵列式电热驱动器为钳体部分提供输入位移，钳体部分应用拓扑优化方法进行设计以实现输入位移放大。金属镍作为制作微夹钳的材料，用紫外光刻微电铸脱模技术工艺制作了电热镍微夹钳。通过正交试验，得到加工SU-8铸模的最优工艺参数，对影响工艺质量的各个因素进行详细讨论并给出解决方法，并加工出了钳体尺寸在毫米量级，最小特征尺寸为10μm，厚度为30μm的电热微夹钳。对制作的微夹钳在0～2．5V直流电压下进行动态测试，夹持端位移最大可达67μm，最大夹持力可达0．8N，可以满足微机电系统微操作的夹持要求。

关键词：微夹钳 紫外光刻微电铸脱模技术 电铸 

单位：大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 大连116023; 连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室; 大连116023