摘要：建立单晶硅超精密磨削过程的三维分子动力学仿真模型，分析分子动力学仿真串行程序特点和并行仿真的可行性，提出基于区域二次划分的分子动力学仿真并行算法。编制并行仿真程序，进行分子动力学仿真，从瞬间原子位置图方面分析单晶硅超精密磨削过程的加工机理。将并行仿真结果与串行程序仿真结果进行对比分析，从瞬间原子位置图和系统能量方面验证并行程序结果的正确性．在仿真规模和计算时间方面并行程序有很大优势，从而说明并行仿真程序是有效的，可以应用在不同原子规模的分子动力学仿真计算中。

关键词：分子动力学仿真 并行算法 区域分解 

单位：大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连116021