摘要：充分考虑滑移边界条件的影响，利用数值计算方法对微机电系统（Micro-electro-mechanical systems，MEMS）中微转子系统径向气体轴承的雷诺方程进行修正求解，得到轴承内部真实的气压分布，进而求得微气体轴承的承载能力和偏位角。通过与宏观无限短轴承模型的结果进行对比分析，发现滑移效应对气体轴承特性的影响规律。宏观无限短轴承模型和无滑移边界模型均会高估气体轴承的承载能力，特别是偏心率较高时（ε〉0．6），产生的偏差更大：微转子系统在高速或超高速工况下运转，可以提高气体轴承的气压和承载能力。

关键词：微机电系统 气体轴承 滑移效应 

单位：上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室 上海200240 上海交通大学微纳科学研究院 上海200030