摘要：为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响，提出径跳误差的在线检测与补偿方法。转台上方并与之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件，电涡流传感器测量心轴径向距离，其测量值由固定误差和径跳误差组成，借助集合平均法或者转台径跳特性，离线求解固定误差，据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差。利用该误差对激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿，分析误差特性，据此简化补偿算法。试验证明，径跳误差补偿方法的使用提高了系统的预对准精度，并最终使系统达到了微米级的定位精度要求。

关键词：晶圆预对准台 电涡流传感器 径向跳动误差 误差补偿 

单位：上海交通大学振动冲击噪声国家重点实验室 上海200240