摘要：为减少步进扫描光刻机连续曝光扫描运动的扫描过渡时间（扫描时间和步进时间）,将硅片台扫描方向曝光扫描运动分解为逻辑步进运动和逻辑扫描运动,提出扫描和步进运动时间重叠的轨迹规划算法（时间重叠算法）处理连续曝光扫描运动。在不破坏运动约束条件下（恒速运动要求以及速度、加速度边界限制）,根据时间重叠算法重新计算并推导不同扫描运动路径下连续扫描运动过程的步进和扫描运动转折点。经理论分析和硅片曝光场连续曝光实例计算表明：基于时间重叠算法的轨迹规划可获得时间优化的硅片台连续曝光扫描,比传统扫描方法减少曝光扫描运动过程中的无效率时间,提高步进扫描光刻机生产率,为步进扫描光刻机工程实践提供理论基础。

关键词：步进扫描光刻机 硅片台 连续曝光扫描 时间重叠规划 多项式运动轨迹 

单位：华中科技大学机械科学与工程学院 武汉430074 广西大学机械工程学院 南宁530004