摘要：论述了微机电系统设计工具的发展概况，并针对微机电系统的多样性对设计工具的需求提出了一种可支持任意流程的微机电系统设计工具架构。该架构以系统级行为建模与仿真、器件级物理建模与仿真和工艺级版图设计与工艺仿真三个设计层级为主干，但特别地提出以六个数据自动传递接口来连接任意两个设计层级。这样，三个设计层级通过六个数据自动传递接口构成一个设计闭环，使得用户可以从任意一个设计层级开始设计，并完成设计循环，提供了在设计流程上的最大柔性。以网表、标准格式的实体模型和版图文件分别作为这三个层级设计数据的出入口，并设计了相应的信息提取算法及程序，实现了任意两个级别之间的数据自动传递，从而可以支持在该架构下的全部六种设计流程。所进行的设计实例表明，基于该工具可以针对不同的微机电系统器件选择最优的设计路线，是对当前通用微机电系统结构化设计方法的发展和提高，可显著提高设计效率。

关键词：微机电系统 设计工具 流程 接口 宏建模 

单位：西北工业大学微／纳米系统实验室 西安710072