摘要：微机电系统（Micro electromechanical systems,MEMS）的快速发展与产品微型化的发展趋势对微细结构表面（包括微孔、微槽和微棱柱/锥等）的加工质量提出了更高的要求,为了提高微细结构表面的加工质量,提出一种磨粒辅助放电加工（Electrodischarge machining,EDM）与电化学加工（Electro chemical machining,ECM）复合加工新方法,通过建立微加工模型分析了该方法的加工机理,搭建了微加工试验平台,并进行了工艺参数优化研究,采用直径500μm和75μm的钨电极在SUS 304不锈钢上分别进行了微盲孔和微通孔加工试验研究,结果表明,在所用的EDM、EDM与ECM复合加工和磨粒辅助EDM与ECM复合加工三种方法中,磨粒辅助EDM与ECM复合加工方法获得的表面粗糙度（Ra15 nm）最高,因此该方法是微细结构表面高效和高质量加工的最佳方法之一。

关键词：放电加工 电化学加工 结构化表面 

单位：浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室 杭州310014 温州大学机电工程学院 温州325035