摘要：超声电机（Ultrasonicmotor,USM）是一种利用压电材料的逆压电效应将电能转化为机械能的新型驱动器。与传统电磁电机相比，超声电机具有低速大转矩、功率密度高、定位精度高、响应速度快、断电自锁、可不使用轴承和润滑、无电磁干扰和不受电磁干扰等优点，在航天和深空探测、光纤通信、科学仪器、高精度机床、半导体制造业、微机电系统、精密定位控制和民用领域都具备广泛的应用前景。

关键词：超声电机 实验 机理 模态 半导体制造业 

单位：哈尔滨工业大学