摘要：作者：蒲华燕 毕业学校：华中科技大学 指导教师：陈学东 罗欣 超精密隔振系统是精密制造、测量装备纳米级精度生成的必要保障。它通过隔离地基振动、抑制装备内部激励，来解决影响超精密装备精度生成的微振动问题。与传统隔振技术相比，

关键词：隔振系统 超精密 博士论文 纳米级精度 机械 

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