摘要：对磷酸二氢钾（Potassium dihydrogen phosphate，KDP）晶体三倍频晶面上0。、45。和90。三个方向，分别进行Berkovich压头纳米压痕试验、维氏显微压痕试验和球形压头纳米划痕试验，观察到明显的压痕尺寸效应现象，得到三个方向各向异性的力学性能、脆塑转变临界载荷和临界深度。试验结果表明，KDP晶体三倍频晶面具有强烈的各向异性，0°、45°和90°方向脆塑转变临界载荷分别为20．4mN、33．6mN和63．2mN，临界深度分别为1．26μm、1．67μm和3．45μm90°方向因其具有最小硬度、最大断裂韧度以及最深脆塑转变临界深度，在划痕过程中塑性去除最多，脆塑转变最晚，是最优加工方向。根据试验结果，建立球形单点金刚石压头纳米划痕试验时脆性材料脆塑转变临界深度预测模型。

关键词：磷酸二氢钾晶体 压痕试验 划痕试验 各向异性 脆塑去除转变 

单位：清华大学机械工程系 北京100084 清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 北京100084