摘要：依据非晶合金薄膜生长对铜衬底的超光滑和低损伤要求，通过采用蓝宝石替代物实现进行式机械研磨。数值模拟结果表明能有效降低铜衬底的表面应力，试验测试表明替代物蓝宝石基片能有效地改善尼值分布；通过设计开发动压浮离抛光基盘，利用液动压效应使得抛光时铜衬底与磨粒之间呈软性接触状态，改善了抛光的润滑状态。综合采用纳米压痕、NT9800白光干涉仪、透射电镜分析铜衬底表面及亚表层特性，测试分析结果表明，制备的铜衬底表面粗糙度Ra0．37nm、Rt4．94nm，亚表层材质致密均匀，亚表面晶格分布有序，品格间的距离较一致，采用进行式机械研磨和动压浮离抛光方法对铜衬底实现了低损伤超光滑制备。

关键词：非晶合金薄膜 铜衬底 低损伤 超光滑 

单位：浙江师范大学工学院 金华321004 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室 杭州310032