摘要：基板运动台是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一，其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、Overlay和成像质量。与IC前道光刻机的硅片台相比，基板运动台具有运动行程更大、扫描速度更快、负载更大、电动机驱动反力更大的特点，

关键词：运动行程 补偿技术 主动减振 overlay 重力 

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