摘要：金刚石是集多种优越的物理、化学、光学和热学性能于一身的材料极品。它不但是自然界已知材料中硬度最大、摩擦因数最小、导热性能最好的材料，而且具有优良的电绝缘性、较宽的透光波段、优秀的半导体特性和化学惰性，被视为21世纪最有发展前途的工程材料，具有广泛的应用前景和巨大的市场潜力。

关键词：cvd金刚石 化学惰性 抛光机理 协同作用 工程材料 

单位：大连理工大学