摘要：火花放电法制备镍微球是一种新兴的方法。为了减小微球尺寸,提出一种复合型制备方法——电火花-超声复合加工法。通过改变超声参数（频率和功率）和工作液（煤油和纯水）,分析这两种工艺参数对微球尺寸的影响。使用扫描电镜观察试验样本,X射线衍射分析样本成分,Smile View软件测量微球粒径,Origin Pro软件得到粒径分布百分比。结果表明：加入超声波之后,小粒径（0-10μm）镍微球比例明显升高,且小粒径微球比例随着超声波频率的增大而降低,随着超声波功率的增大而升高。和煤油相比,以纯水为工作液所制备的微球尺寸普遍偏小,可得到粒径小于1μm比例为6%-10%,小于5μm比例为50%-80%,且超声波对微球尺寸减小效果比在煤油中显著。以纯水为工作液所得微球成分中Ni单质比例更高（？99%）。此外,在加入超声试验组中发现有少量空心球存在,并初步分析了空心球成型机理。

关键词：镍微球 超声参数 工作液 

单位：四川大学制造科学与工程学院 成都610065