摘要：可穿戴和便携式电子设备朝“轻薄化”与“小型化”方向的快速发展,极大地刺激了现代社会对高能量/功率密度、轻量便携化、柔性化储能器件的强烈需求。平面型微超级电容器(In-plane micro-supercapacitors, IPMSC)作为一种新型的微电源储能器件,以其超薄厚度、高功率密度和长循环寿命等优点被认为是集成电子器件重要的储能器件而备受关注。但是,随着IPMSC加工技术不断朝着高效、高精度和低成本等方向发展,常用的加工技术已难以满足其要求,操作更易、可扩展性更强、精度较高和成本更低的激光加工技术成为了目前IPMSC加工技术的研究热点。基于此,对不同类型IPMSC的工作原理及其电化学性能进行了总结,从激光还原、激光诱导、激光刻蚀和激光烧结四方面着手详细介绍了激光加工IPMSC的类型及加工工艺,重点综述了目前国内外关于激光加工IPMSC在机械性能和电化学性能等方面的研究进展情况,概括了用于IPMSC电解质的特性及其挑战,并在综合探讨激光加工IPMSC所面临的技术挑战基础上,对其在可穿戴和便携式电子设备中的应用前景进行了展望。

关键词：微超级电容器 平面型 激光加工 储能器件 

单位：华南理工大学机械与汽车工程学院; 广州510640; 广东省功能结构与器件智能制造工程实验室; 广州510640