摘要：随着微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems, MEMS)研究的日渐发展,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究,其重要性也越来越显示出来.从装配的微操作出发,介绍了微操作的基本概念,对应用于微操作的压电驱动技术的原理、特点、现状及研究热点进行了详尽的阐述,并对其相应的控制策略进行了探讨.

关键词：微操作 压电驱动技术 位移放大 控制策略 

单位：东南大学; 机械工程系; 江苏; 南京; 210096