摘要：作为一执行机构,微纳操作器是纳米操作系统的关键部件之一.重点分析了3-DOF并联微纳操作器的运动学正解和逆解,推导出了运动学正解的雅可比矩阵.依据微纳操作器的可操作空间最大化,对微纳操作器的雅可比矩阵进行了分析.分析结果对并联微纳机构的参数选择与设计具有一定的指导意义.

关键词：纳米操作系统 并联微纳操作器 雅可比矩阵 

单位：同济大学; 电子与信息工程学院; 上海; 200092; 同济大学; 中德学院; 上海; 200092