摘要：提出微机电系统（MEMS）按预定性能设计综合的高效求解方法。按预定性能设计综合是MEMS分析的反问题，是将性能分析方程组变换为性能设计方程组，采用从牛顿迭代法推导出的解法求解该非线性性能设计方程组，即可使MEMS器件具有预定性能。该方法与国外采用的遗传算法和退火算法等自然模拟优化算法相比，计算效率与计算精度大大提高，例如对某谐振器的设计综合计算，采用遗传算法和退火算法需要上万次分析，计算时间达4～5h，计算相对误差达5％，该方法仅需二三十次分析，计算时间不超过30s，计算相对误差小于0．01％。

关键词：微机电系统 预定性能 设计综合 高效解法 遗传算法 

单位：广西大学机械工程学院 广西南宁530004 广西工学院机械工程系 广西柳州545006