摘要：微型机械电子系统（MEMS）是近年来研究的热点，其中微夹持器的研究受到越来越多的关注。文中采用有限元软件ANSYS对平行梁结构电热微夹持器进行了数值仿真分析，模拟出微夹持器的输出位移、末端刚度、夹持力与响应时间等性能参数随结构尺寸的变化情况，并对仿真的结果进行了讨论。

关键词：微夹持器 电热致动 ansys 数值仿真 

单位：燕山大学机械工程学院 河北秦皇岛066004 燕山大学继续教育学院 河北秦皇岛066004