摘要：采用直圆柔性铰链支撑的复合平行四杆机构，设计了一种压电陶瓷（PZT）驱动器的装夹机构。该机构具有导向精度稳定、响应速度快、分辨率高和无耦合运动等优点。从力学理论出发推导了柔性铰链刚度的简化计算公式，运用参数化的分析方法求得了柔性铰链结构参数对装夹机构应力、刚度及有效行程的影响。实验测得刚度和有效行程的理论计算误差分别仅为3．9％和1．4％，表明了该设计方法的可靠性与有效性。

关键词：柔性铰链 装夹机构 微动工作台 

单位：南昌大学机电工程学院 江西南昌330031